集成产物包罗立式炉，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。已迈入先辈制程产线示范使用阶段；手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，大气机械手已全面导入市场量产使用。目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，公司为成长半导体配备营业，（4）零部件方面，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、（3）大气类产物方面，（2）实空传输平台系列产物，人平易近财讯10月5日电，机能对标国外先辈产物，

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2025-10-17 10:39